主要功能的净化车间是控制产品(如硅等)暴露于清洁、温度和湿度的大气,可以使产品在良好的生产环境和制造空间,这个空间九游会登录称之为净化车间。根据国际惯例,除尘水平主要是根据每立方米空气中颗粒的数量。也就是说,无尘并不是百分之百的尘埃,而是被控制在非常少的单位里。
当然,相对于九游会登录普通粉尘标准的粉尘微粒标准很小,但对于光学结构来说,即使只是一点点灰尘也会产生非常负面的影响,所以在生产的光学结构中,无尘净化车间是不可避免的要求。
每立方米小于0.3微米的粉尘颗粒的数量控制在3500的水平,达到国际无灰尘标准的水平。目前,晶片级处理的无尘标准比A级标准高,主要用于高等级芯片的生产。5亩和以下的微尘量严格控制在1000单位每立方米,被称为行业1K水平。